肯納特執(zhí)行器介紹說，閥門電動執(zhí)行器是用于操作閥門并于閥門相連接的裝置。該裝置由電力來驅(qū)動，其運(yùn)動過程可由行程、轉(zhuǎn)矩或軸向推力的大小來控制。由于閥門電動裝置應(yīng)有的工作特性和利用率取決于閥門的種類、裝置的工作規(guī)范及閥門在管線或設(shè)備上的位置。因此掌握閥門電動裝置正確的選擇；考慮防止超負(fù)荷（工作轉(zhuǎn)矩高于控制轉(zhuǎn)矩）的發(fā)生就成為至關(guān)重要的一環(huán)。

    對于多回轉(zhuǎn)類的明桿閥門來說，如果電動裝置允許通過的大閥桿直徑不能通過所配閥門的閥桿，便不能組裝成電動閥門。因此，電動裝置空心輸出軸的內(nèi)徑必須大于明桿閥門的閥桿外徑。對于部分回轉(zhuǎn)閥門以及多回轉(zhuǎn)閥門中的暗桿閥門，雖不用考慮閥桿直徑的通過問題，但在選配時(shí)亦應(yīng)充分考慮閥桿直徑與鍵槽的尺寸，使組裝后能正常工作。

    壓電MEMS微執(zhí)行器的設(shè)計(jì)難點(diǎn)包括了大位移與低驅(qū)動電壓之間的制約、驅(qū)動負(fù)載功率與執(zhí)行器薄型化之間的制約、不可避免的工藝誤差帶來的性能退化。針對上述性能提升難點(diǎn)，在不斷的摸索過程中形成和發(fā)展了位移放大機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)、疊加模態(tài)去耦設(shè)計(jì)、負(fù)載帶寬優(yōu)化等相關(guān)技術(shù)。

    同時(shí)，根據(jù)多輪次的流片與設(shè)計(jì)、版圖相互調(diào)整的摸索經(jīng)驗(yàn)，完成壓電多自由度微振動臺數(shù)學(xué)模型研究，建立工藝參數(shù)與器件性能的映射關(guān)系，同時(shí)結(jié)合器件設(shè)計(jì)優(yōu)化，實(shí)現(xiàn)器件設(shè)計(jì)與工藝制備的協(xié)同優(yōu)化，獲得壓電微執(zhí)行器穩(wěn)定工藝流程與優(yōu)異器件性能。